零件表面的残留颗粒物污染物会对零件的使用寿命造成影响，因此在精密制造领域需要对零件表面的清洁度进行分析检测，从而确保产品的可靠性。以下是常见颗粒物分析方法的比较。
颗粒物分析方法
(1)筛分法。
优点：简单、直观、设备造价低，常用于大于40um的样品。
缺点：结果受人为因素和筛孔变形影响较大。
(2)颗粒物图像分析法。
优点：简单、直观，可进行形貌分析，适合分布窄(*大和*小粒径的比值小于10：1)的样品。
缺点：代表性差，分析分布范围宽的样品比较麻烦，无法分析小于1um的样品。
奥林巴斯CIX100清洁度检测系统
奥林巴斯CIX100清洁度检测系统可用于ISO 16232以及VDA-19标准。
(3)沉降法(包括重力沉降和李新沉降)。
优点：操作渐变，仪器可以连续运行，价格低，准确性和重复性较好，测试范围较广。
缺点：测试时间较长，操作比较繁琐。
(4)电阻法。
优点：操作渐变可测颗粒数，等效概念明确，速度快，准确性好。
缺点：不适合测量小于0.1um的颗粒样品，对粒度分布宽的样品更换小孔管比较麻烦。
(5)激光法。优点：操作简便，测试速度快，测试范围广，重复性和准确性好，可进行在线测量和干法测量。缺点：结果受分布模型影响较大，仪器造价较高，分辨力低。
(6)电子显微镜法。
优点：适合测试超新颗粒甚至纳米颗粒，分辨力高，可进行形貌和结构分析。
缺点：样品少，代表性差，测量易受人为因素影响，仪器价格昂贵。
(7)光阻法。
优点：测试便捷快速，可测液体或气体中颗粒数，分辨力高。
缺点：不适用粒径小于1um的样品，进行系统比较讲究，仅适合对尘埃、污染物或已稀释好的**进行测量，对一般粉体用的不多。
(8)透气法。
优点：仪器价格低。不用对样品进行分散，可测测性材料粉体。
缺点：只能得到平均粒度值，不能测粒度分布;不能测小于5um细粉。